2021 世界微机电系统中国峰会讲师

Dr. Alex Gu

上海微技术工业研究院
高级副总裁

简介

古元冬博士现担任上海大学微电子学院院长，上海新微技术研发中心有限公司（上海微技术工业研究院，简称“工研院”）高级副总经理，负责公司的产品与技术研发。归国后，古博士已攻克了高性能压电氮化铝（含高掺钪）薄膜沉积、刻蚀、图案化等工艺难题，实现了超声芯片和水听器的技术突破。该开放平台也为国内5G和4G射频滤波器公司提供了重要工艺支撑。

古博士也作为创院院长，主导了工研院和上海大学共建上海大学微电子学院的建设。归国前，古博士担任新加坡科学技术研究局下属微电子学院（IME）的执行副院长。在此之前，古博士曾在国际顶尖传感器企业霍尼韦尔国际集团公司（美国）担任首席科学家。古博士在传感器和微电子领域有近二十年丰富的技术研发、科技管理及产业化经验。最近7年的研发工作主要集中在8英寸压电氮化铝（AlN）薄膜工艺及相关MEMS核心元器件的研发，如4G/5G射频滤波器、压电MEMS超声换能器、压电MEMS水听器等。

古元冬博士毕业于美国明尼苏达大学（PhD, 2003)。拥有 24项美国授权专利，在国际著名学术期刊及专业顶级会议发表论文140 余篇。

演讲内容

开幕致辞

公司简介

上海微技术工业研究院

上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区和中科院微系统所发起成立，是集研发、工程、产业化于一体的新型研发机构。作为上海市首家研发与转化功能型平台，SITRI拥有全国首条8寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线。SITRI参考国际先进工业研究院的创新模式，通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施，不断降低产业研发成本，缩短产品开发周期，在促进创新创业的同时，逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路。

SITRI已形成国际化的专家团队，在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子、磁传感和硅基III-Ⅴ族等领域为企业提供长期可靠的研发服务。通过组建工程服务平台，提供产品、工艺、电路的分析以及晶圆和成品测试等技术支持，同时提供芯片设计、知识产权和产业咨询等相关服务。截至2021年7月底，SITRI已服务600家订单客户。SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国，已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。

工艺研发平台

工研院“超越摩尔”研发中试线提供MEMS、AlN、硅光子、微流控和生物光电子等“超越摩尔”核心工艺，为设计、设备、材料企业提供高效的研发和中试服务，实现从研发到量产无缝对接。

设计服务平台

工研院以MEMS传感器、硅光子、模拟、射频、存储器、功率器件、SOI、生物光电子工艺平台等为核心，提供从建模设计、工艺/流片、PDK优化、封测、产品设计及IP布局等全流程“一条龙”服务，为“超越摩尔”领域的创新创业提供低成本、低风险和高附加值的技术支持，加快产品面世和技术迭代周期。

工程测试平台

工研院配备先进的分析测试设备、自主开发的EDA软件以及具有丰富经验的国际化团队，通过专业的技术分析和测试服务，为企业提供电子产品分析、工艺分析、电路分析、MEMS晶圆与成品测试、IGBT模块测试等的技术支持，定制知识产权和产业咨询等增值服务。