吴国强教授

吴国强博士现任武汉大学工业科学研究院教授。2013年在中科院上海微系统与信息技术研究所取得博士学位。吴博士的研究兴趣包含微/纳电子机械系统的器件设计和工艺集成，特别是在微机械谐振器和压电传感器方面有着坚实的研究基础。

基于氮化铝压电薄膜微机械谐振器和声学传感器

薄膜压电材料在MEMS领域越来越重要。薄膜压电材料的制备与MEMS或者CMOS工艺兼容性好。氮化铝在常用的压电薄膜材料中最有应用前景。基于氮化铝压电薄膜的体声学波滤波器已经实现了巨大的商业成功。氮化铝压电薄膜在麦克风、压电超声换能器以及成像等领域也具有很好的应用前景。

本报告简要介绍了课题组在基于氮化铝压电薄膜谐振器和声学传感器方向的研究进展。希望能与各位专家学者相互交流学习。