
2021 世界微机电系统中国峰会讲师
曾淼
曾淼先生目前担任上海微技术工业研究院 (工研院) ; 高级副总裁、负责工研院的8“MEMS研发中试线。
工研院是以聚焦超越摩尔创新工艺为主的研发和功能转化平台,专注产品及相关工艺的产业化。
曾淼先生具有超过28年的半导体经验,包括工艺;客服;市场销售等领域。曾担任北京赛莱克斯微系统科技有限公司CEO;中芯长电市场与销售副总裁;中芯国际资深总监;并曾供职于华虹;Silterra;美国杜邦等公司,
曾淼先生1992年毕业于美国罗杰斯特理工,获得微电子工程硕士学位。
微机电工艺技术开发 – 新的产业化模式 (暂定)
报告分析了当前MEMS 行业供应链从器件设计到工艺开发的流程,并探讨缩短整个流程及迅速进入量产的方案。

上海微技术工业研究院
上海微技术工业研究院(SITRI)成立于2013年,由上海市科委、嘉定区和中科院微系统所发起成立,是集研发、工程、产业化于一体的新型研发机构。作为上海市首家研发与转化功能型平台,SITRI拥有全国首条8寸“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线。SITRI参考国际先进工业研究院的创新模式,通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施,不断降低产业研发成本,缩短产品开发周期,在促进创新创业的同时,逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路。
SITRI已形成国际化的专家团队,在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子、磁传感和硅基III-Ⅴ族等领域为企业提供长期可靠的研发服务。通过组建工程服务平台,提供产品、工艺、电路的分析以及晶圆和成品测试等技术支持,同时提供芯片设计、知识产权和产业咨询等相关服务。截至2021年7月底,SITRI已服务600家订单客户。SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国,已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。
工艺研发平台
工研院“超越摩尔”研发中试线提供MEMS、AlN、硅光子、微流控和生物光电子等“超越摩尔”核心工艺,为设计、设备、材料企业提供高效的研发和中试服务,实现从研发到量产无缝对接。
设计服务平台
工研院以MEMS传感器、硅光子、模拟、射频、存储器、功率器件、SOI、生物光电子工艺平台等为核心,提供从建模设计、工艺/流片、PDK优化、封测、产品设计及IP布局等全流程“一条龙”服务,为“超越摩尔”领域的创新创业提供低成本、低风险和高附加值的技术支持,加快产品面世和技术迭代周期。
工程测试平台
工研院配备先进的分析测试设备、自主开发的EDA软件以及具有丰富经验的国际化团队,通过专业的技术分析和测试服务,为企业提供电子产品分析、工艺分析、电路分析、MEMS晶圆与成品测试、IGBT模块测试等的技术支持,定制知识产权和产业咨询等增值服务。
2021 世界微机电系统中国峰会讲师
Dr. Michael Pate
Mobile Audio Systems, Algo, Architecture Lead
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