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2021 世界微机电系统中国峰会讲师

陆原博士

  • 意发薄膜科技
  • 技术市场经理
  • 简介

陆原博士是Evatec技术市场经理。他负责中国区半导体事业部的市场战略以及技术方案的确定。陆博士作为材料科学家在磁控溅射和材料物理方面有着丰富的经验，尤其在5G滤波器，第三代化合物半导体功率器件，压电MEMS等专业应用上参与了许多项目的技术选型以及最终性能以及量产优化。这使得Evatec提供给客户最佳的技术know-how以及量产解决方案。

  • 演讲内容

集成与整合——压电材料的PVD先进技术

为了满足压电MEMS器件越来越高的应力以及精度的要求，以及薄膜更高的电学性能，对薄膜生长需要达到的技术参数提出了相当高的要求。Evatec作为有70余年底蕴的PVD设备解决方案提供商，由科学家和高级工程人员和量产客户一起，从硬件和工艺出发挑战等离子磁控溅射的极限。

此次介绍的CLN200E的新平台上，挂载最新的单一工艺腔，可以达到更高的精度，应力和电学性能，且相关组件已经受到国际主流客户的认可参与量产。Evatec希望通过我们的技术解决方案，为您的器件提供更好的性能，一起塑造未来

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  • 公司简介

意发薄膜科技

Evatec is a “Thin film Powerhouse”. As a global leader in thin film technology we design and manufacture production systems for industry, and our customized engineering solutions support the equipment needed at the worlds’ leading R&D institutions.

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