
2021 世界微机电系统中国峰会讲师
博士
David Haynes博士毕业于英国斯旺西大学 (Swansea University),拥有工程学学士学位及材料工程学博士学位。其博士毕业论文的研究领域为有机半导体材料在电子与光电领域的应用。
在他的职业生涯中,David 曾就职于意法半导体 (STS)、SPTS 科技和牛津仪器 (Oxford Instruments) 的半导体资本设备和研究仪器部门,积累了超过20年的行业经验。他专注于新技术开发,并在光电芯片的等离子刻蚀和沉积、光子学、微电子机械系统(MEMS)、功率和射频电子、以及先进芯片上的封装技术领域拥有深厚的工艺背景。
基于丰富的技术知识,David还在发展战略性业务伙伴关系、新技术开发,以及为全球领先的半导体晶圆厂引入工艺制造技术方面成就非凡。
David于2016年6月加入泛林集团,现担任客户支持事业部战略营销执行总监。
先进压电式微机电系统(MEMS)的推动性制造解决方案
三十多年来,电容式MEMS技术促成了电子设备实现了创新功能。技术的飞跃不断地推动设备性能持续提升。随着技术日趋成熟,整个行业转而寻找推动进步的新机遇。基于压电材料的MEMS解决方案预示着MEMS技术的潜在拐点即将到来。当然,压电式MEMS已经面市很久。基于AlN和AlScN薄膜的MEMS射频滤波器当属目前最成功的MEMS设备之一。然而,随着掺钪水平的提高,这些设备已然面临挑战,设备制造更是如此。事实上,基于其他压电材料的MEMS设备(如压电换能器)也面临着类似的挑战。在本次演示中,我们将进一步探讨这些制造挑战,以及泛林为推动MEMS技术发展所做的工作。

泛林集团
泛林集团是全球半导体创新晶圆制造设备及服务的主要供应商。泛林的设备和服务助力客户构建体积更小、性能更佳的电子设备。事实上,当今几乎每一颗先进的芯片都是用泛林的技术制造的。我们出色的系统工程、技术领导力、以及基于强大的核心价值观的企业文化,都与对客户的坚定承诺紧密结合。泛林集团(纳斯达克股票代码:LRCX)是一家财富500强公司,总部位于美国加利福尼亚州弗里蒙特市,业务遍及世界各地。欲了解更多信息,请访问: www.lamresearch.com.
2021 世界微机电系统中国峰会讲师
Dr. Michael Pate
Mobile Audio Systems, Algo, Architecture Lead
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