Dr. Alex Gu
MWS 顾问委员会

Co-chair: 古元冬

  • 微机电系统国际峰会咨询委员会主席
  • 上海微电子产业学院院长
  • 简介

古元冬博士现担任上海大学微电子学院院长,上海新微技术研发中心有限公司(上海微技术工业研究院,简称“工研院”)高级副总经理,负责公司的产品与技术研发。归国后,古博士已攻克了高性能压电氮化铝(含高掺钪)薄膜沉积 、刻蚀、图案化等工艺难题,实现了超声芯片和水听器的技术突破。该开放平台也为国内5G和4G射频滤波器公司提供了重要工艺支撑。

古博士也作为创院院长,主导了工研院和上海大学共建上海大学微电子学院的建设。

归国前,古博士担任新加坡科学技术研究局下属微电子学院(IME)的执行副院长。在此之前,古博士曾在国际顶尖传感器企业霍尼韦尔国际集团公司(美国)担任首席科学家。古博士在传感器和微电子领域有近二十年丰富的技术研发、科技管理及产业化经验。最近7年的研发工作主要集中在8英寸压电氮化铝(AlN)薄膜工艺及相关MEMS核心元器件的研发,如4G/5G射频滤波器、压电MEMS超声换能器、压电MEMS水听器等。

古元冬博士毕业于美国明尼苏达大学(PhD, 2003)。拥有 24项美国授权专利,在国际著名学术期刊及专业顶级会议发表论文140 余篇。

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