Dr. Songsong Zhang photo
2022 世界微机电系统中国峰会讲师

张嵩松博士

  • 上海微技术工业研究院
  • 总监
  • 简介

2014 年于新加坡国立大学获博士学位。攻读博士期间独立设计研究微型 MEMS 传感器在医疗以及工艺领域的应用。2014 底加入新加坡科技研究局(A*STAR) 微电子研究院, 参与氮化铝(AlN)平台建设以及压电 MEMS 超声换能器的研发和产业化推广。于 2019 年 10 月加入上海微系统工业研究院，负责压电平台声学器件设计，制造工艺验证和相关产品技术孵化。

  • 演讲内容
氮化铝工艺技术平台以及压电氮化铝超声传感器在测距领域的应用

伴随 MEMS 滤波器技术的发展，氮化铝技术的应用得到了工业界的广泛关注。随着设备，靶材，工艺等全套产业链的不断技术革新，基于氮化铝材料的压电 MEMS 传感器技术也推陈出新，逐渐在消费电子，工业电子和汽车电子等各个领域普及。氮化铝 MEMS 换能器突出的性价优势让使其不但在普通应用环境中逐步替代了基于快材的传统换能器，而且其出色的体积和功耗优势也为新应用领域的拓展创造机会。本篇也以超声测距应用为例，展现了基于氮化铝材料的压电微型超声换能器(PMUT)突破传统超声测距的瓶颈技术，为智能时代赋能。

Shanghai Industrial μTechnology Research Institute （SITRI） logo
  • 公司简介

上海微技术工业研究院

上海微技术工业研究院（SITRI）成立于 2013 年，由上海市科委、嘉定区和中科院上海微系统所发起成立，是集研发、工程、产业化于一体的研发与转化功能型平台。SITRI 拥有全国首条 8 寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线。SITRI 参考国际先进工业研究院的创新模式，通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施，不断降低产业研发成本，缩短产品开发周期，在促进创新创业的同时逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路.

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