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2022 世界微机电系统中国峰会讲师

武震宇教授

  • 中国科学院上海微系统与信息技术研究所研
  • 教授
  • 简介

武震宇,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、传感技术实验室主任,上海微技术工研院首席工程师,入选国家、上海市海外高层次人才项目。曾任德国博世公司研发工程师、项目经理,开发并交付量产多种车用和智能手机用MEMS芯片。目前担任国家重点研发计划首席科学家,主持多项国家级、省部级重大项目,研究MEMS工艺、光学器件、集成量子器件等先进传感器。

  • 演讲内容
MEMS光学微镜最新进展

过去二十年来,MEMS微镜逐渐在数字投影、激光扫描、医疗成像、光纤通信等领域取得了越来越广泛的应用。如今,激光雷达、智能眼镜、AR/VR等新的应用场景的层出不穷对MEMS微镜提出了越来越多的需求,技术和产品更加多样化。本报告将基于MEMS微镜技术的最新发展趋势,阐述中科院上海微系统所的MEMS微镜器件性能、表征结果、应用示范等最新研究进展。

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所研

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