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2022 世界微机电系统中国峰会讲师

汪巍博士

  • 上海微技术工业研究院
  • 硅光总监
  • 简介

汪巍博士，上海市高层次人才，上海新微技术研发中心有限公司硅光总监，国家科技部信息光电子总体专家组成员，主要从事硅基光电集成关键工艺及器件开发工作，主导完成上海工研院硅光工艺平台建设，主导平台对外流片服务，在该领域国际会议和期刊发表论文80余篇，提交工艺与器件相关国家发明专利40余项，授权20余项。

  • 演讲内容
上海工研院硅光工艺平台

近年来，以大数据、云计算、物联网、移动终端为代表的下一代信息技术，迎来了前所未有的市场机遇。集成光电子作为关键支撑技术变得越来越重要。硅基光电集成利用了成熟的硅CMOS技术和工艺平台，在“超越摩尔”时代带来了光子和微电子器件集成的优势。越来越多的国内企业和研究团队投入这一领域，迫切需要自主先进灵活的硅基光电集成工艺平台，加速研发与产业化进程。本报告将介绍SITRI硅基光电集成工艺平台工艺能力，最新进展和未来规划。

Shanghai Industrial μTechnology Research Institute （SITRI） logo
  • 公司简介

上海微技术工业研究院

上海微技术工业研究院（SITRI）成立于 2013 年，由上海市科委、嘉定区和中科院上海微系统所发起成立，是集研发、工程、产业化于一体的研发与转化功能型平台。SITRI 拥有全国首条 8 寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线。SITRI 参考国际先进工业研究院的创新模式，通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施，不断降低产业研发成本，缩短产品开发周期，在促进创新创业的同时逐步探索出一条自身造血、可持续发展的道路.

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