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2022 世界微机电系统中国峰会讲师
赵伟博士
赵伟博士现任职于Onto Innovation,做为战略市场总监负责特色工艺器件的市场和应用开拓, 领域涵盖功率器件,三代化合物半导体,传感器,模拟芯片,微机电系统,物联网等。赵伟博士的职业生涯从先进逻辑制程开始,负责平面和鳍式半导体的相关技术研发,通过制程工艺及带领制程整合,同时作为设备战略规划先锋,为半导体制程技术革新提供了重要支持。近些年随着特色工艺器件技术的不断进步,作为设备和技术专家,赵伟博士与诸多厂商合作开发设备和应用以促进技术的进步与革新。在Onto Innovation, 赵伟博士负责整合和扩展其丰富的薄膜和三维量测,缺陷检测,光刻和先进控制产品及技术,使之助于特色工艺器件的研发及高效生产制造。赵伟博士拥有大连理工大学力学学士和硕士学位,以及纽约石溪大学机械工程博士学位。
实现高性能高效率MEMS制造的工艺控制解决方案介绍
Onto Innovation是先进半导体制造行业内提供量测和缺陷检测解决方案的领先供应商。本演讲将重点介绍用于提升工艺控制和实现MEMS器件大批量生产的几个用例和关键产品技术,包括薄膜厚度测量、三维几何测量、光刻套刻精度测量、缺陷检测和闭环软件控制在提高射频滤波器件性能和良率中的应用;缺陷检测系统和工艺控制软件在麦克风MEMS芯片制造中的应用;以及加速度计和陀螺仪中整合BiCMOS电路和MEMS芯片制程的高效缺陷检测应用。

Onto Innovation
Onto Innovation是工艺控制领域的领先提供商,在全球范围内提供广泛的尖端技术组合,包括:无图形硅片品质,跨芯片的3D测量技术(从纳米级晶体管到大型晶粒互连),晶圆和封装的宏观缺陷检测,元素层组成,叠对量测,工厂分析,以及先进半导体封装的微影。我们的产品覆盖半导体整个价值链,帮助客户解决了他们最棘手的良率、器件性能、品质和可靠性问题。Onto Innovation致力于更智能、更快、更高效的优化客户的关键工艺路径。Onto Innovation总部设在美国的马萨诸塞州威尔明顿市,通过全球销售和服务机构为客户提供支持。更多信息,请访问www.ontoInnovation.com.
查看更多2022世界微机电系统欧洲峰会講師資訊

李健民
研发总监
安靠封装测试(上海)有限公司

孙杰
总监
延电科技股份有限公司

郑元博士
公司副总裁 产品和技术,ICAPS
应⽤材料公司

黄妙恭
技术总监
黄妙恭

陈震威
销售总监
意发薄膜科技

Keith Nicholson
应用工程部全球总监
博世传感器事业部

聂泳忠博士
董事长
西人马联合测控(泉州)科技有限公司

王云龙博士
总裁
通用微科技有限公司

陈建超
高级总监
歌尔微电子股份有限公司

Prof. Hong-Bin Yu
待定
HUST

王靖博士
总监
中国南方工业集团先进光学研究院

Michelle Bourke
Managing Director of Strategic Marketing
泛林集团

宋强博士
首席技术官
Lochn Optics

刘磊
联合创始人
映芯科技

张辰良
副总
苏州敏芯微电子技术股份有限公司

Edith Beigné
Silicon Research Director | Reality Labs
Meta

Rob Devlin
Co-founder and CEO
Metalenz

吴涛
助理教授
上海科技大学信息学院

古元冬
微机电系统国际峰会咨询委员会主席
上海大学微电子产业学院院长

董渊
教授
上海大学微电子学院

胡挺
教授
上海大学微电子学院

娄亮博士
总监
上海微技术工业研究院

娄亮博士
总监
上海微技术工业研究院

汪巍博士
硅光总监
上海微技术工业研究院

张嵩松博士
总监
上海微技术工业研究院

武震宇教授
教授
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研

汪小帆
副校长
上海大学党委书记 成旦红

端木海婴
上海市多媒体行业协会副秘书长/VAIA 专委会主任
上海市多媒体行业协会

钟其泽博士
教授
上海大学

孙媛丽
总经理
苏州斯贝亚自动检测设备有限公司

郭成博士
创始人、首席执行官
北京国承万通信息科技有限公司

陈巧
技术总监
苏州知芯传感技术有限公司

杨昆云博士
联合创始人,CTO
苏州镭智传感科技有限公司,材料科学姑苏实验室

王韬博士
助理教授
电子科技大学,国家示范性微电子学院

王韬博士
助理教授
电子科技大学,国家示范性微电子学院

李金喜
市场总监
厦门云天半导体科技有限公司

Andrea Rusconi
Co-Founder & CTO
Usound

Dimitrios Damianos
Senior Technology & Market Analyst
Yole Intelligence part of Yole Group

吴汉明院士
中国工程院院士
浙江大学微纳电子学院院长