赵伟博士

赵伟博士现任职于Onto Innovation，做为战略市场总监负责特色工艺器件的市场和应用开拓, 领域涵盖功率器件，三代化合物半导体，传感器，模拟芯片，微机电系统，物联网等。赵伟博士的职业生涯从先进逻辑制程开始，负责平面和鳍式半导体的相关技术研发，通过制程工艺及带领制程整合，同时作为设备战略规划先锋，为半导体制程技术革新提供了重要支持。近些年随着特色工艺器件技术的不断进步，作为设备和技术专家，赵伟博士与诸多厂商合作开发设备和应用以促进技术的进步与革新。在Onto Innovation, 赵伟博士负责整合和扩展其丰富的薄膜和三维量测，缺陷检测，光刻和先进控制产品及技术，使之助于特色工艺器件的研发及高效生产制造。赵伟博士拥有大连理工大学力学学士和硕士学位，以及纽约石溪大学机械工程博士学位。

实现高性能高效率MEMS制造的工艺控制解决方案介绍

Onto Innovation是先进半导体制造行业内提供量测和缺陷检测解决方案的领先供应商。本演讲将重点介绍用于提升工艺控制和实现MEMS器件大批量生产的几个用例和关键产品技术，包括薄膜厚度测量、三维几何测量、光刻套刻精度测量、缺陷检测和闭环软件控制在提高射频滤波器件性能和良率中的应用；缺陷检测系统和工艺控制软件在麦克风MEMS芯片制造中的应用；以及加速度计和陀螺仪中整合BiCMOS电路和MEMS芯片制程的高效缺陷检测应用。