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2022 世界微机电系统中国峰会讲师

钟其泽博士

  • 上海大学
  • 教授
  • 简介

钟其泽博士于2021年加入上海大学担任教授。2015年至2021年期间,他先后在新加坡南洋理工大学和新科技局微电子研究所担任博士后和研究员。钟博士主要从事平面光学和先进半导体工艺研究,在光电芯片设计和工艺开发经验具有较为丰富的经验。2018年,他作为核心成员参与了12寸可量产超构表面工艺平台的研发。工艺平台的建立吸引了欧美国家顶尖大学国际知名的初创高科技公司(如哈佛大学、康宁公司、AMAT、AMS、欧司朗等)的关注。在学术方面,钟博士已经发表了50多篇学术论文,被引用超过3000次,此外,还获得了9项发明专利。

  • 演讲内容
超构表面迈向大规模制造

超构表面是由许多亚波长结构单元在二维空间按照一定规律排布实现特定电磁特性构成的。超构表面可以通过不同方式塑造光的波前、偏振和非线性响应,在光操纵方面展现了独特能力,实现传统电磁波设计无法实现的特性,在学术界颇受到重视。随着晶圆级超构表面制造工艺平台的不断发展,使得超构表面的实际应用成为现实。在本讲座中,我们将主要介绍超构表面光学器件的晶圆级制造的进展,并展示自身在晶圆级工艺平台制备超构透镜、偏振带通滤波器、半波板和光束偏转器等光学器件的研究成果。

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