陈巧

陈巧博士毕业于法国国家科研中心FEMTO-ST，至今具有十多年MEMS器件开发经验，先后在无锡微奥科技担任技术总监，上海矽睿科技担任高级主任工程师，作为核心发明人申请专利&论文超过80项。设计制作了超小尺寸MEMS微镜，超大位移MEMS微镜，大镜面MEMS微镜，大阵列微镜，分别应用在内窥镜OCT成像，傅里叶变换光谱仪FTS和光交叉互联OXC。于2019年创办苏州知芯传感技术有限公司，主要产品PZT驱动MEMS微镜，应用在3D感知，激光雷达等领域，先后荣获苏州工业园区领军人才，姑苏领军人才。

MEMS微镜机遇与挑战

MEMS微镜并不是一个新的东西。二十年前微镜已经用于光通信领域，另外，利用MEMS微镜的激光投影功能，可应用在便携式微型投影仪或者AR眼镜，该领域Microvision公司有做过尝试，包括跟sony合作推出微型投影仪，与Google推出Googleglass，与Microsoft合作推出Hololens.2，但都没有得到大量应用。最近主要推进激光雷达应用。到目前为止，已经都多家公司采用MEMS微镜作为激光雷达方案，市场端有巨大机会。然而，在技术方面存在一些难点，特别是需要制作大镜面大角度的微镜，以及车规级的可靠性验证。目前经过大家努力，正逐步被解决。